Procesul de placare din spate se referă la procesul de depunere a unuia sau mai multor straturi de tranziție de metal/aliaj pe partea din spate ne-pulverizată a țintei de pulverizare prin acoperire cu vid și alte tehnologii pentru a îmbunătăți rezistența de aderență între țintă și placa de suport. Acest lucru nu numai că îmbunătățește calitatea acoperirii țintei, dar îi prelungește și durata de viață.
Ce este "Back Plating"?
Țintele de pulverizare sunt structurate în mod obișnuit ca un „corp țintă” (componenta de bază utilizată pentru depunerea prin pulverizare, cum ar fi ținte de ceramică de alumină, cupru sau molibden) și o „placă de suport” (un substrat folosit pentru a susține ținta și a distribui căldura, de obicei realizat din aliaje de cupru sau aluminiu). Cele două sunt unite împreună prin sudură sau lipire.
„Placarea din spate” implică depunerea unui strat dintr-un anumit material (de obicei un metal cu o conductivitate electrică sau termică bună, cum ar fi cuprul, aluminiul sau argintul) pe partea din spate a țintei de pulverizare (suprafața ne-de lucru opusă suprafeței de pulverizare) prin depunere fizică de vapori (PVD) sau alte metode. Se creează o structură compozită cu trei-straturi: „corp țintă - strat de placare din spate - placă de sus”. Această acoperire nu participă la procesul real de depunere a filmului subțire, dar are un impact semnificativ asupra performanței generale și a duratei de viață a țintei.
Funcțiile de bază ale placarii din spate
1. Transfer de căldură îmbunătățit și disipare îmbunătățită a căldurii
În timpul procesului de pulverizare, suprafața țintă este bombardată cu ioni de-energie mare și aproximativ 70% din energie este convertită în căldură, ceea ce face ca temperatura țintă să crească brusc. Prin acoperirea spatelui țintei cu un material foarte conductiv termic, contactul termic dintre țintă și placa de suport de răcire poate fi îmbunătățit semnificativ, accelerând transferul de căldură de la țintă la sistemul de răcire și controlând eficient temperatura de funcționare.
2. Îmbunătățirea contactului electric și asigurarea stabilității la descărcare
Pulverizarea cu magnetron se bazează pe formarea unei descărcări stabile de plasmă pe suprafața țintă. Învelișul din spate este de obicei realizat dintr-un material foarte conductiv pentru a reduce rezistența de contact, pentru a asigura o distribuție uniformă a curentului și pentru a îmbunătăți stabilitatea descărcării. Acest lucru este deosebit de important în pulverizarea-de mare putere (cum ar fi HIPIMS).
3. Îmbunătățirea legăturii mecanice și prevenirea abandonului țintei
Țintele sunt fixate în mod obișnuit pe plăci de suport metalice prin lipire sau presare mecanică. Spațiile microscopice dintre țintă și placa de suport, sau o legătură slabă, pot duce cu ușurință la delaminare sau detașare sub ciclul termic și vibrații mecanice. Acoperirea din spate acționează ca un „strat de tranziție”, îmbunătățind umectarea și lipirea între țintă și placa de suport.
4. Prevenirea contaminării și oxidării
Anumite materiale țintă reacționează ușor cu oxigenul sau vaporii de apă din aer la temperaturi ridicate, formând un strat de oxid care afectează eficiența pulverizării și puritatea filmului. Acoperirea din spate poate servi ca o barieră fizică pentru a izola partea din spate a țintei de mediul extern și pentru a preveni oxidarea și contaminarea. Este deosebit de important în timpul depozitării și transportului țintei.
Procese tipice de-acoperire din spate
1. Pulverizare cu magnetron:
O țintă de cupru sau aluminiu este folosită pentru a depune un strat conductiv pe spatele țintei. Această metodă este potrivită pentru aplicații cu suprafețe mari-care necesită uniformitate ridicată.
2. Galvanizare sau placare electroless:
Potrivit pentru substraturi conductoare și cu costuri{0}}relativ scăzute, dar necesită un control atent al tensiunii de acoperire.
3. Pulverizare termică:
Această metodă, cum ar fi pulverizarea cu plasmă, este potrivită pentru forme complexe sau depunere în strat gros, dar poate duce la o rugozitate mai mare a suprafeței.
Țintele fierbinți de-vânzare ale FANMETAL
Concepții greșite comune
1. Este întotdeauna mai bun un strat de spate-mai gros?
Nu neapărat. Acoperirile spate-excesiv groase pot introduce stres de nepotrivire prin dilatare termică, ceea ce duce la fisurare. De obicei, grosimea este controlată între câțiva microni și zeci de microni, necesitând optimizare pe baza coeficientului de dilatare termică al materialului.
2. Toate țintele necesită acoperire înapoi-?
Nu neapărat. Pentru aplicații de pulverizare la scară-mică, de-putere redusă sau de-dură scurtă, este posibil ca acoperirea-să nu fie necesară. Cu toate acestea, în aplicațiile industriale care necesită putere mare, suprafețe mari și durată lungă de viață, acoperirea din spate-a devenit standardul.
3. Placarea înapoi-afectează utilizarea țintei?
Placarea cu spate-în sine nu consumă material de pulverizare. În schimb, îmbunătățește utilizarea generală prin creșterea stabilității și a duratei de viață.
Concluzie
Deși acoperirea cu spate-tintelor de pulverizare nu participă în mod direct la depunerea peliculei subțiri, este esențială pentru asigurarea unor procese de pulverizare stabile, eficiente și-de lungă durată. Îmbunătățind conductivitatea termică, optimizând contactul electric, sporind rezistența aderării și prevenind contaminarea, îmbunătățește în mod cuprinzător durata de viață a țintei (prelungind-o de 2-3 ori), calitatea acoperirii (reducerea ratei defectelor) și stabilitatea procesului (reducerea riscului de oprire). Progresele tehnologice viitoare vor permite pulverizarea cu magnetron să înlocuiască procesele tradiționale de evaporare pentru depunerea de acoperire din spate, permițând toleranțe de grosime în ± 0,5 μm și optimizând în continuare performanța țintei. Dacă aveți întrebări despre detaliile acestui produs sau despre timpul de livrare, nu ezitați să ne contactați la admin@fanmetalloy.com. Așteptăm cu nerăbdare mesajul dvs.
