Pulverizarea țintă, ca tehnologie de bază a ingineriei suprafețelor și a tehnologiei filmului subțire, se referă la utilizarea ionilor sau a altor particule încărcate pentru a lovi ținta într-o stare de înaltă energie, declanșând astfel transferul de energie cinetică și transportul material al atomilor sau moleculelor țintă. . Atomii sau moleculele excitate se desprind de suprafața țintă și se depun pe substrat într-o mișcare de mare viteză, formând o peliculă subțire cu o structură uniformă sau specifică.
1. Clasificare
(1) Pulverizare DC
Principiu: pulverizarea DC folosește o sursă de curent continuu constantă ca sursă de energie și este potrivită în principal pentru ținte cu conductivitate bună, cum ar fi metalele.
Caracteristici: Are avantajele unui echipament simplu, funcționare ușoară și rata mare de depunere. Acest lucru nu se aplică materialelor izolante, deoarece acestea nu pot stabili un transport eficient al încărcăturii.
(2) Pulverizare prin radiofrecvență
Principiu: Pulverizarea prin radiofrecvență utilizează puterea radiofrecvenței (de obicei în intervalul MHz), astfel încât materialele neconductoare (cum ar fi ceramica, oxizii) pot fi, de asemenea, pulverizate.
Caracteristici: Capabil să pulverizeze materiale izolatoare cu uniformitate mai mare de depunere. Cu toate acestea, datorită sistemului complex de alimentare și control, costurile și dificultatea de întreținere sunt relativ mari.
(3) Pulverizare cu magnetron
Principiu: Bazat pe pulverizarea tradițională, un câmp magnetic este generat prin plasarea magneților în apropierea țintei, sporind astfel densitatea și stabilitatea plasmei.
Caracteristici: Eficiență îmbunătățită de pulverizare și calitate a filmului, consum redus de țintă. Poate funcționa la o presiune mai mică a aerului, reducând astfel impactul particulelor de gaz asupra filmului.
(4) Pulverizare reactivă
Principiu: În timpul procesului de pulverizare, gaze reactive (cum ar fi oxigenul, azotul) sunt introduse în atmosfera de lucru pentru a reacționa chimic cu atomii țintă pentru a forma o peliculă compusă.
Caracteristici: Pot fi preparate o varietate de filme compuse, cum ar fi oxizi, nitruri, carburi etc. Cu toate acestea, controlul este complicat și necesită o ajustare precisă a debitului și presiunii gazului reactiv.
(5) Pulverizare de magnetron cu impulsuri de mare putere
Principiu: Utilizați sursa de alimentare cu impulsuri de mare putere pentru a genera plasmă de înaltă densitate pentru o perioadă scurtă de timp pentru a crește rata de pulverizare.
Caracteristici: Se pot obține filme mai netede și mai dense. Dar datorită consumului ridicat de energie, managementul termic și durabilitatea dispozitivului devin provocări.
2.Aplicație
(1) Industria semiconductoarelor
Tehnologia de pulverizare este utilizată pentru a depune straturi conductoare, izolatoare și de ecranare care sunt esențiale pentru fabricarea de circuite integrate de înaltă performanță și dispozitive microelectronice.
(2) Aplicații optice
Oglinzi și acoperiri anti-reflex: Filmele subțiri preparate prin tehnici de pulverizare pot fi utilizate pentru a fabrica o varietate de componente optice, cum ar fi lentile, lentile și oglinzi în sistemele laser. Stratul de absorbție a luminii și stratul conductor din celulele solare sunt, de asemenea, adesea pregătite prin pulverizare.
(3) Acoperire decorativă
Industrii auto și construcții: Filmele pulverizate sunt utilizate pentru acoperiri decorative pe piesele auto și materialele de construcție, nu doar oferind un aspect estetic, ci și sporind rezistența la uzură și la coroziune a materialului. Carcasele și părțile decorative ale electronicelor de larg consum, cum ar fi telefoanele mobile și computerele, folosesc adesea tehnologia de pulverizare pentru a acoperi filme frumoase și rezistente la uzură.
(4) Filme speciale funcționale
Poate depune filme de duritate mare și rezistente la uzură pe suprafețele uneltelor și matrițelor pentru a prelungi durata de viață a sculei. În plus, filmele pulverizate pot fi folosite pentru a regla transmisia luminii în tehnologia ferestrelor inteligente pentru clădiri și automobile.
(5) Domeniul biomedical
Filmele biocompatibile sunt în general depuse prin tehnici de pulverizare pentru a spori compatibilitatea articulațiilor artificiale sau a implanturilor dentare cu corpul uman.
FANMETAL poate oferi clienților diverse ținte de pulverizare metalică, cum ar fi ținte de pulverizare din titan și aluminiu, ținte de tungsten și ținte de pulverizare cu metal cromat etc.
