1. Puritate
Puritatea țintei de titan are o mare influență asupra proprietăților filmelor pulverizate. Cu cât este mai mare puritatea țintei, cu atât mai puține particule de element de impuritate în filmul pulverizat și performanța filmului este mai bună (cum ar fi rezistența la coroziune, proprietățile optice și electrice). În aplicațiile practice, cerințele de puritate ale țintelor de titan pentru diferite scopuri sunt diferite. . De exemplu, cerințele de puritate ale țintelor pentru acoperirile decorative generale nu sunt exigente, în timp ce țintele pentru circuite integrate, corpuri de afișare și alte domenii au cerințe mult mai mari de puritate, în general în jur de 99,999 la sută sau mai mult.
2. Dimensiunea medie a boabelor
De obicei, ținta de titan are o structură policristalină, iar dimensiunea granulelor poate varia de la microni la milimetri. Rata de pulverizare a țintei cu granulație fină este mai rapidă decât cea a țintei cu granulație grosieră. Distribuția grosimii filmului depus prin pulverizare este, de asemenea, relativ uniformă. Dimensiunea medie a granulelor țintelor de titan pentru circuitele integrate este, în general, necesară să fie de 30 μm, iar dimensiunea medie a granulelor țintelor de titan cu granulație ultrafină este sub 10 μm.
3. Orientarea cristalelor
Titanul are o structură hexagonală compactă. În timpul pulverizării, atomii țintă de titan sunt ușor pulverizați de-a lungul direcției aranjamentului hexagonal al atomilor. Prin urmare, pentru a obține cea mai mare rată de pulverizare, este posibilă creșterea ratei de pulverizare prin modificarea structurii cristaline a țintei. rata de pulverizare. Direcția de cristalizare a țintei de titan are, de asemenea, o mare influență asupra uniformității grosimii stratului de film pulverizat, iar dimensiunea filmului afișajului plat și a stratului decorativ este relativ groasă, astfel încât cerințele pentru orientarea granulelor țintei de titan corespunzătoare sunt relativ scăzut.
4. Geometrie și dimensiune
Se reflectă în principal în precizia procesării și calitatea procesării, cum ar fi dimensiunea procesării, planeitatea suprafeței, rugozitatea etc. Grosimea mică va afecta durata de viață a țintei; suprafața de etanșare prea aspră și canelura de etanșare vor cauza probleme de vid după ce ținta este instalată; Asperarea suprafeței de pulverizare a țintei poate face ca suprafața țintei să fie plină de vârfuri proeminente, sub acțiunea efectului vârfului, potențialul acestor vârfuri ridicate va fi mult crescut, distrugând astfel descărcarea dielectrică. Cu toate acestea, o proeminență excesiv de mare dăunează calității și stabilității pulverizării.
Compania noastra poate furniza aliaje de titan, cum ar fiȚinte de pulverizare din titan aluminiușiȚintă de pulverizare cu titan, precum și ținte de titan de puritate și formă diferită și acceptă, de asemenea, servicii personalizate. Dacă este necesar, vă rugăm să ne contactați prin e-mail.
